摘要:
2月27日公司召開了“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(以下簡稱02專項)啟動會。公司主要領導、研發中心、質檢部、財務部、采購部、技術部等相關人員參加會議。
由科利德公司與國內其他五家單位共同承擔 的“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項“高純電子氣體研發與產業化”課題,主要是研制開發用于8英寸以上集成電路芯片用高純電子氣體。“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項是我國16個科技重大專項之一,旨在開發集成電路關鍵制造裝備,掌握具有自主知識產權的成套先進工藝及相關新材料技術,打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況,帶動相關產業的技術提升和結構調整。
本次會議明確了課題研發內容和目標,宣布成立公司內部的02專項管理小組和實施小組,并規定了項目實施管理辦法。會議要求各部門做好項目計劃、組織、協調工作,大家應各司其職做好本職工作,同心協力克服困難,接受挑戰,按計劃要求完成課題研究。
本項目是公司繼承擔國家863項目、國家發改委高新技術產業化示范項目以后,又承擔的另一國家級重大科技項目。通過本課題的研制實現高純電子氣體產業化,填補國內電子氣體空白,對發展極大規模集成電路制造產業,建立我國集成電路產業鏈條起到重要的推進作用。